李運鋒，男，博士，高級工程師。1976年出生，漢族，籍貫河南，2006年7月畢業(yè)于上海交通大學自動化系，獲控制理論與控制工程專業(yè)博士學位。

個人概況

同年進入上海微電子裝備有限公司，從事高端光刻機對準技術(shù)的研發(fā)和項目管理工作，歷任系統(tǒng)工程師、技術(shù)主管、部門副經(jīng)理。在國內(nèi)外期刊發(fā)表公開發(fā)表論文16篇，其中SCI收錄2篇（次），EI收錄6篇（次），申請發(fā)明專利50余項。

研究方向

李運鋒博士一直從事超高精度（納米級）測量技術(shù)的研發(fā)工作，目前主要的研究方向基于衍射光柵的硅片對準測量技術(shù)、機器視覺技術(shù)，以及后端的信號處理技術(shù)和圖像處理技術(shù)。

同時，在工程項目中，主要從事系統(tǒng)設計和項目管理工作，組織和領(lǐng)導相關(guān)學科的設計工程師（光學設計工程師、機械工程師、軟硬件設計工程師等），從事項目的開發(fā)和工程實現(xiàn)工作。

項目經(jīng)歷

2000-2002年，機器人變結(jié)構(gòu)控制技術(shù)的研究；

2002-2006年，生物發(fā)酵過程先進控制技術(shù)的研究；

2006-目前，從事高端光刻機對準技術(shù)的研發(fā)工作（項目屬于‘863’專項和“國家重大科技專項”）

獲得的榮譽

發(fā)明專利“光刻技術(shù)中對準信號的處理方法”(ZL200910049046.1)獲得國家知識產(chǎn)權(quán)局“2010年度百件優(yōu)秀中國專利項目”；

2008、2009年度，兩次獲得上海微電子裝備有限公司“優(yōu)秀員工“”榮譽稱號；

2008、2009年度，兩次獲得上海微電子裝備有限公司“專利十佳”榮譽稱號；

2009年度，獲得上海微電子裝備有限公司“專利成果獎”；

2010年度，獲得上海微電子裝備有限公司第一屆技術(shù)論壇論文鼓勵獎；

2010年度，被授予上海微電子裝備有限公司“專利成就銅獎”

發(fā)表論文

1. 李運鋒，韋學志，宋海軍，徐榮偉，基于粗對準與精對準分開探測的對準系統(tǒng)，光學與光電子技術(shù),2009,7(6):61-64

2. 李運鋒，王海江，韋學志，宋海軍，用于光刻裝置的多光柵標記對準系統(tǒng)，微納電子技術(shù),2009, 46(8):494-497

3. Yunfeng Li, Jingqi Yuan, Prediction of key state variables usingsupport vector machines in bioprocesses, Chemical Engineering & Technology,2006, 29(3): 313-319.(SCI: 022KZ, EI: 06129764099)

4. Yunfeng Li, Zhifeng Wang, Jingqi Yuan, On-line fault detection usingdynamic SVM-based MPLS for batch processes, Chinese Journal of ChemicalEngineering, 2006,14(6): 754-758. (SCI: 122ZM, EI: 20070210357871)

5. 李運鋒，袁景淇，頭孢菌素C發(fā)酵過程狀態(tài)變量及效益函數(shù)預報方法，化工學報,2005, 56(7): 1281-1283. (EI:05359331303)

6.李運鋒，袁景淇，生物發(fā)酵過程效益函數(shù)的在線預報，上海交通大學學報,2005,39(8):1341- 1343 + 1348. (EI: 05399387318)

7. 李運鋒，袁景淇，薛耀鋒，發(fā)酵過程中神經(jīng)網(wǎng)絡訓練樣本的選取，化工自動化及儀表,2004, 31(6):21-24. (EI:05279198086)

8. 李運鋒，袁景淇，薛耀鋒，生物發(fā)酵過程關(guān)鍵變量預報系統(tǒng)設計及應用，計算機工程,(EI 源),2005,31(23): 183-185.

9. 李運鋒，袁景淇，神經(jīng)網(wǎng)絡預報在發(fā)酵過程異常診斷中的應用，生物工程學報,2005,21(1):102-106.

10.王卓，袁景淇，李運鋒，多罐并行發(fā)酵過程的彈性停罐調(diào)度策略，上海交通大學學報,2004,38(9): 1548-1551.(EI:04538760045)

11. 薛耀鋒，袁景淇，李運鋒，王卓，基于COM的發(fā)酵過程調(diào)度優(yōu)化軟件開發(fā)，微型電腦應用, 2004,20(8): 33-35.

12. 焦曉紅，耿秋實，方一鳴，李運鋒，液壓伺服并聯(lián)機器人的自適應魯棒跟蹤控制，系統(tǒng)仿真學報,2003:15(3):401-403

13. 焦曉紅，李運鋒，方一鳴，耿秋實，一種機器人魯棒自適應控制法，機器人技術(shù)與應用,2002,3:40-43

14. 焦曉紅，耿秋實，方一鳴，李運鋒，并聯(lián)機器人的魯棒自適應控制，機器人技術(shù)與應用,2002,4:22-25

15. 李運鋒，焦曉紅，耿秋實，方一鳴，一種具有全局穩(wěn)定的L2增益機器人控制器設計方法，自動化理論、技術(shù)與應用.2002,9:212-216

16. 耿秋實，焦曉紅，方一鳴，李運鋒，并聯(lián)機器人的H∞魯棒自適應控制，自動化理論、技術(shù)與應用,2002,9:78-82

發(fā)明專利

1. 李運鋒，基于機器視覺的光刻裝置對準系統(tǒng)與對準方法，CN200810034477.6

2. 李運鋒、陳延太、韋學志、陳勇輝、周暢，硅片對準信號的處理方法，CN200810035115.9

3. 李運鋒、王海江、趙新、韋學志、宋海軍，一種硅片標記捕獲系統(tǒng)與方法，CN200910047030.7

4. 李運鋒、王海江、趙新、陳延太、韋學志，光刻技術(shù)中對準信號的處理方法，CN200910049046.1

5. 李運鋒、韋學志、徐榮偉、陳勇輝、周暢，一種用于光刻機對準的標記以及使用該標記的對準方法，CN200710045495.X

6. 李運鋒、韋學志、徐榮偉、陳勇輝、周暢，對準系統(tǒng)和對準標記，CN200710045496.4

7. 李運鋒、韋學志、徐榮偉、宋海軍，用于光刻設備的對準系統(tǒng)、對準方法及增強型對準標記，CN200810039465.2

8. 李運鋒，對準標記的對準掃描方法，CN200910200223.1

9. 李運鋒、王海江、韓悅、胡明輝，用于光刻設備的對準信號采集系統(tǒng)與對準方法，CN200910201611.1

10. 李運鋒、王海江、宋海軍、韋學志，光刻機的對準信號的周期測校方法，CN200910247635.0

11. 李運鋒、趙新、韓悅、韋學志，對準標記測量信號處理方法，CN201010177516.5

12. 李運鋒，一種信號歸一化掩模對準系統(tǒng)，CN201010250440.4

13. 李運鋒，一種環(huán)境補償對準系統(tǒng)，CN201010250448.0

14. 韓悅、李運鋒，一種基于多個不同波長的對準方法，CN200910194853.2

15. 韓悅、李運鋒、趙新，基于雙光源多級次的對準系統(tǒng)及其對準方法，CN200910052799.8

16. 韋學志、李運鋒、徐榮偉、周暢、陳勇輝，一種用于光刻設備的對準系統(tǒng)，CN200710044152.1

17. 李欣欣、李運鋒、韋學志、宋海軍，一種用于光刻設備對準系統(tǒng)的對準標記結(jié)構(gòu)，CN200810040234.3

18. 李欣欣、李運鋒、韋學志、宋海軍、張勇，精確確定空間像高大小的方法，CN200910198352.1

19. 韋學志、李運鋒、徐榮偉、周暢、陳勇輝，用于投影掃描光刻機的對準方法及微器件制造方法，CN200710044153.6

20. 陳振飛、李運鋒、張勇，一種使用信號處理的方法進行硅片對準的對準系統(tǒng)及方法，CN200810041493.8

21. 陳延太、宋海軍、李運鋒，光刻機硅片對準信號的處理方法，CN200910055927.4

22. 程鵬、韋學志、李運鋒、王海江、唐文力、陳振飛、劉強，對準光強信號采集與解調(diào)裝置，CN200810204355.7

23. 杜聚有、徐榮偉、宋海軍、韋學志、李運鋒、戈亞萍，一種用于光刻設備的對準系統(tǒng)及對準方法，CN200810041152.0

24. 唐文力、王海江、凃澤恩、宋海軍、李運鋒，掩模對準系統(tǒng)及其方法，CN200810203806.5

25. 王海江、程鵬、李運鋒、唐文力、陳振飛、劉強、宋海軍、韋學志、胡明輝，用于光刻設備的對準標記搜索系統(tǒng)及其對準標記搜索方法，CN200910046308.9

26. 徐榮偉、韋學志、李運鋒、周暢、李鐵軍，一種光刻裝置和用于光刻裝置的對準系統(tǒng)及對準方法，CN200710045580.6

27. 徐榮偉、韋學志、李運鋒、周暢、李鐵軍，一種對準標記和對其成像的光學系統(tǒng)以及成像方法，CN200710045579.3

28. 韓悅、李運鋒，一種標記期望位置確定方法，CN201010619057.1

29. 胡明輝、李運鋒，用于光刻裝置的對準系統(tǒng)及對準方法，CN201010137228.7

30. 朱正平、李運鋒、宋海軍、韋學志，一種提高對準精度的對準掃描方法，CN201010582193.8

31. 胡明輝、李運鋒，掩模對準自適應掃描方法，CN201110086178.9

32. 朱正平、李運鋒、宋海軍、李欣欣，離軸信號處理方法，CN201110187349.7

33. 陳小娟、李運鋒、趙正棟，光刻機掩模的對準掃描方法及對準信號處理方法，CN201110187358.6

34. 趙正棟、李運鋒、陳小娟、趙新、宋海軍，光刻設備對準方法，CN201110074407.5

35. 鐘芳、李運鋒、王海江、宋海軍，用于光刻設備的集成傳感器，CN201110086796.3

36. 王海江、李運鋒、唐文力、程鵬、曹佩、宋海軍，用于掩模對準的探測器系統(tǒng)及方法，CN201110204032.x

37. 陳小娟、李運鋒、趙正棟、趙新，用于掩模對準的對準信號采集系統(tǒng)及對準方法，CN201110272730.3

38. 王海江、李運鋒、唐文力、程鵬、曹佩、宋海軍，一種自動增益系統(tǒng)信號與增益同步采集裝置與方法，CN201010621219.5

39. 韓悅、韋學志、李運鋒、宋海軍，基于多周期標記的色動態(tài)選擇方法，CN200810033263.7

40. 朱正平、李運鋒、韋學志、宋海軍，一種提高對準掃描成功率的方法，CN200910199599.5

41. 王海江、唐文力、李運鋒程鵬、陳振飛宋海軍、韋學志、胡明輝，一種用于DUV光刻裝置的掩模對準面形探測裝置，CN201010135955.x

42. 戈亞萍、徐榮偉、李運鋒，一種激光束偏移測量裝置和方法，CN201110068068.x

43. 陳延太、宋海軍、韋學志、李運鋒、王海江，一種基于正交化模型的離軸信號處理方法、裝置及系統(tǒng)，CN201010164981.5

44. 唐文力、王海江、陳振飛、程鵬、李運鋒，一種電光相位調(diào)制器諧振頻率檢測裝置及檢測方法，CN201010118296.9

45. 王海江、王詩華、戈亞萍、唐文力、李運鋒、程鵬、陳振飛、宋海軍、韋學志、胡明輝，硅片對準光源幅度調(diào)制裝置，CN201010173160.8

46. 王海江、唐文力、程鵬、陳振飛、李運鋒、宋海軍、韋學志，一種對準信號模擬發(fā)生裝置，CN201010292198.7